Keuntungan target sputtering magnetron silinder dan planar

Konsultan teknis RSM akan berbagi dengan Anda keuntungan dari target sputtering magnetron silinder dan planar?Dibandingkan dengan target sputtering magnetron lainnya, target sputtering magnetron silinder dan planar mempertahankan keunggulan keseragaman lapisan yang baik dari target planar persegi panjang, dan dapat memaksimalkan pemanfaatan target melalui dua cara berikut:

(1) Ketika dua kelompok (empat) lubang annular pada permukaan target mencapai kedalaman tertentu, inti target (bagian magnet) dapat diputar 45° relatif terhadap tabung target, sehingga area lain pada tabung target yang belum terkorosi dapat digunakan;

(2) Ketika inti target dari target sputtering magnetron silinder dan planar dirancang sebagai inti target yang berputar (inti target berputar selama sputtering), permukaan target dapat disemprotkan secara merata lapis demi lapis tanpa lubang.Saat ini, target akan digunakan paling efektif, dan tingkat pemanfaatan target dapat mencapai 50% ~ 60% Jika material targetnya adalah logam mulia, ini jelas sangat penting.

Dengan menggunakan prinsip magnet dengan sepatu tiang pada target sputtering magnetron silinder koaksial untuk mengatasi masalah medan magnet ujung, target bidang persegi panjang dapat diubah menjadi target sputtering magnetron silinder dan planar, Target tersebut dapat memaksimalkan tingkat pemanfaatan target. sekaligus menjaga keseragaman pelapisan target bidang persegi panjang yang baik sehingga dapat meningkatkan manfaat ekonomi.