Tujuan pembersihan sasaran adalah untuk menghilangkan kemungkinan adanya debu atau kotoran pada permukaan sasaran.Kini, editor Rich Special Material Co., LTD.(RSM) akan berbagi dengan Anda tentang empat langkah membersihkan target logam:
Langkah pertama adalah membersihkan dengan kain lembut tidak berbulu yang dibasahi aseton;
Langkah kedua mirip dengan langkah pertama, membersihkan dengan alkohol;
Langkah 3: bersihkan dengan air deionisasi.Setelah dicuci dengan air deionisasi, target dimasukkan ke dalam oven dan dikeringkan pada suhu 100 ℃ selama 30 menit.Target oksida dan keramik harus dibersihkan dengan “kain bebas serat”.
Langkah keempat adalah mencuci target dengan argon dengan tekanan tinggi dan gas air rendah untuk menghilangkan semua partikel pengotor yang dapat membentuk busur pada sistem sputtering.
Catatan: saat menangani target, harap kenakan sarung tangan perawatan yang bersih dan bebas serat untuk mencegah kontak langsung dengan target dengan tangan.
Waktu posting: 24 Juni 2022