Pengetahuan pemeliharaan target sputtering

Banyak teman-teman tentang pemeliharaan target kurang lebih ada pertanyaan, akhir-akhir ini banyak juga pelanggan yang berkonsultasi tentang masalah terkait pemeliharaan target, izinkan editor RSM untuk kami berbagi tentang pengetahuan pemeliharaan target sputtering.

　　Bagaimana seharusnya target sputter dipertahankan?

　　1[UNK] Target pemeliharaan

Untuk menghindari korsleting dan busur api yang disebabkan oleh rongga yang tidak bersih dalam proses sputtering, perlu dilakukan pembuangan sputtering yang terkumpul di tengah dan kedua sisi jalur sputtering secara berkala, yang juga membantu pengguna untuk terus-menerus melakukan sputtering pada kepadatan daya tinggi.

　　2[UNK] Target penyimpanan

Sebaiknya pengguna menyimpan target (baik logam atau keramik) dalam kemasan vakum, terutama target fitting harus disimpan dalam ruang hampa untuk mencegah oksidasi lapisan fitting mempengaruhi kualitas fitting.Sedangkan untuk kemasan target logam, kami menyarankan agar target tersebut dikemas setidaknya dalam kantong plastik bersih.

　　3、 Sasaran pembersihan

Langkah pertama adalah membersihkan dengan kain lembut tidak berbulu yang dibasahi aseton;

Langkah kedua mirip dengan langkah pertama, membersihkan dengan alkohol;

Langkah 3: bersihkan dengan air deionisasi.Setelah dibersihkan dengan air deionisasi, target dimasukkan ke dalam oven dan dikeringkan pada suhu 100 ℃ selama 30 menit.Disarankan untuk menggunakan “kain bebas serat” untuk membersihkan target oksida dan keramik.

Langkah keempat adalah mencuci target dengan argon dengan tekanan tinggi dan kelembapan rendah untuk menghilangkan partikel kotor yang dapat menyebabkan busur pada sistem sputtering.

　　4[UNK] Sirkuit pendek dan pemeriksaan kekencangan

Setelah target dipasang, seluruh katoda perlu diperiksa korsleting dan kekencangannya.Disarankan untuk menilai apakah ada korsleting pada katoda dengan menggunakan pengukur resistansi dan megger.Setelah dipastikan tidak ada korsleting pada katoda, pemeriksaan kebocoran air dapat dilakukan, dan air dapat dimasukkan ke dalam katoda untuk mengetahui apakah terdapat kebocoran air.

　　5、 Pengemasan dan transportasi

Semua target dikemas dalam kantong plastik tertutup vakum dengan bahan anti lembab.Paket luar umumnya berupa kotak kayu dengan lapisan anti-tabrakan di sekelilingnya untuk melindungi target dan bidang belakang dari kerusakan selama pengangkutan dan penyimpanan.