Paduan aluminium titanium adalah target sputtering paduan untuk pengendapan vakum.Target paduan aluminium titanium dengan karakteristik berbeda dapat diperoleh dengan menyesuaikan kandungan titanium dan aluminium pada paduan tersebut.Senyawa intermetalik titanium aluminium merupakan bahan keras dan rapuh dengan ketahanan aus yang baik.Mereka dilapisi dengan lapisan senyawa intermetalik titanium aluminium pada permukaan alat pemotong biasa, yang secara efektif dapat memperpanjang masa pakai alat tersebut.Jika sputtering dilakukan dengan permulaan busur pelepasan nitrogen, masker wajah permukaan dengan kekerasan tinggi dan koefisien gesekan rendah dapat diperoleh, yang sangat cocok untuk pelapisan permukaan berbagai perkakas, cetakan, dan bagian rentan lainnya.Oleh karena itu, ia memiliki prospek penerapan yang bagus dalam industri permesinan.
Persiapan target paduan titanium-aluminium relatif sulit.Menurut diagram fase paduan aluminium titanium, berbagai senyawa intermetalik dapat terbentuk antara titanium dan aluminium, yang menyebabkan kerapuhan pemrosesan pada paduan aluminium titanium.Terutama bila kandungan aluminium dalam paduan melebihi 50% (rasio atom), ketahanan oksidasi paduan tiba-tiba menurun dan oksidasi menjadi parah.Pada saat yang sama, pemuaian eksotermik selama proses paduan dapat dengan mudah menghasilkan gelembung, penyusutan pori-pori, dan porositas, yang mengakibatkan porositas paduan yang tinggi dan ketidakmampuan untuk memenuhi persyaratan kepadatan bahan target.Ada dua metode utama untuk menyiapkan paduan aluminium titanium:
1、 Metode pemanasan arus kuat
Metode ini menggunakan perangkat yang dapat memperoleh arus tinggi, yang memanaskan bubuk titanium dan bubuk aluminium, memberikan tekanan, dan menyebabkan aluminium dan titanium bereaksi membentuk target paduan aluminium titanium.Kepadatan produk target paduan aluminium titanium yang dibuat dengan metode ini>99%, dan ukuran butir ≤ 100 μm.Kemurnian>99%.Kisaran komposisi bahan target paduan aluminium titanium adalah: kandungan titanium 5% hingga 75% (rasio atom), dan sisanya kandungan aluminium.Metode ini berbiaya rendah dan kepadatan produk tinggi, serta dapat sepenuhnya memenuhi persyaratan produksi industri skala besar.
2、 Metode sintering pengepresan isostatik panas
Metode ini mencampurkan bubuk titanium dan bubuk aluminium, kemudian mengalami pemuatan bubuk, pra pengepresan isostatik dingin, proses degassing, dan kemudian pembentukan pengepresan isostatik panas.Terakhir, sintering dan pemrosesan dilakukan untuk mendapatkan target paduan aluminium titanium.Target paduan aluminium titanium yang dibuat dengan metode ini memiliki karakteristik kepadatan tinggi, tidak memiliki pori-pori, tidak memiliki porositas dan segregasi, komposisi seragam, dan butiran halus.Metode pengepresan isostatik panas saat ini menjadi metode utama untuk menyiapkan target sputtering paduan aluminium titanium yang dibutuhkan oleh industri pelapisan.
Waktu posting: 10 Mei 2023