Banyak pengguna yang tidak mempertimbangkan pembelian target dari sudut pandang profesional, jadi apa yang harus diperhatikan saat membeli target?Mari kita minta Xiaobian dari Beijing Ruichi untuk menunjukkan hal-hal yang perlu diperhatikan saat membeli target.
Pertama, untuk target, kemurnian adalah salah satu indikator fungsional utamanya, dan kemurnian target mempunyai dampak besar pada fungsi film produk selanjutnya.Setiap produk juga memiliki persyaratan kemurnian target yang berbeda.
Kedua, kandungan pengotor elemen individu dalam target.Setelah serangkaian pemrosesan target, pengotor dalam padatan target serta oksigen dan uap air di pori-pori merupakan sumber polusi utama dari film yang diendapkan.Karena penggunaan target yang berbeda, persyaratan untuk kandungan pengotor yang berbeda dari target dengan kegunaan yang berbeda juga berbeda.Misalnya, target aluminium murni dan paduan aluminium yang digunakan dalam industri semikonduktor kini memiliki persyaratan khusus untuk kandungan logam alkali dan unsur radioaktif.
Kepadatan juga merupakan salah satu indeks kinerja penting dari target. Dalam proses teknis target, untuk mengurangi pori-pori padatan target dan meningkatkan fungsi film tergagap, target umumnya diharuskan memiliki kepadatan yang tinggi.Kepadatan karakteristik utama target mempunyai pengaruh yang besar terhadap laju sputtering, dan mempengaruhi fungsi listrik dan optik film.Semakin tinggi kepadatan target, semakin baik fungsi film tersebut.
Terakhir, ukuran butir dan distribusi butir.Biasanya, bahan targetnya adalah polikristalin, dan ukuran butirnya bisa berkisar dari mikron hingga milimeter.Untuk target yang sama, laju sputtering target butiran halus lebih cepat dibandingkan target butiran kasar;Ketebalan film yang diendapkan dengan target sputtering dengan perbedaan ukuran butir kecil (uniform dispersion) lebih seragam.
Waktu posting: 10 Juni 2022